| Каталог документов NormaCS
ОСТ 11 055.003-78 Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу
ОСТ 11 055.003-78 Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессуСтатус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS Обозначение: ОСТ 11 055.003-78 Наименование: Полупроводниковые приборы. Фотолитография. Технические требования к технологическому процессу Дополнительные сведения: доступны через сетевой клиент NormaCS. После установки нажмите на иконку рядом с названием документа для его открытия в NormaCS

Пожалуйста, дождитесь загрузки страницы... Документ заменен на:
Показать легенду ОСТ 11 14.7006-87 - Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии
|